失效分析實驗室

主要設備包括：

• 無損X射線分析儀
• 激光開封機
• 靜態電性分析儀
• 光學顯微鏡
• 輔助制樣
• 掃描電子顯微鏡
• 聚焦離子束顯微鏡
• 透射電子顯微鏡
• 二次離子質譜儀
• 微光顯微鏡/光束誘導阻值微變顯微鏡