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Innoscience Technology (Zhuhai) Co., Ltd.（“Innoscience”）最近舉行儀式，慶祝推出用於製造 Innoscience 8 英寸硅基氮化鎵 (GaN-on-Si) 晶圓的光刻掃描儀，用於功率開關應用。 2021 年，Innoscience 推出了 ASML 的光刻掃描儀。 得益於 ASML 光刻掃描儀卓越的成像性能和獨特的雙級 TWINSCAN 架構，Innoscience GaN-on-Si 功率器件的生產率和線產量得到提高。 儀式上，阿斯麥副總裁、中國區總經理沉波代表阿斯麥被Innoscience授予“最佳戰略合作伙伴”稱號。
近年來，氮化鎵（GaN）、碳化硅（SiC）等“第三代半導體”以其體積更小、開關頻率更高、能源效率更高等特點成為全球半導體行業的焦點。 管理具有比傳統硅材料更高的功率密度。 此類新材料可滿足節能減排、智能製造等全球戰略需求。GaN是關鍵的“第三代半導體”材料之一，具有廣闊的市場前景和廣泛的應用前景 涵蓋消費者、工業和汽車。 作為全球領先的8英寸硅基氮化鎵集成器件製造商（IDM），英諾科技致力於推動第三代半導體製造技術的創新和革命。
“我們在今年第二季度推出了 ASML 的光刻掃描儀，這提高了我們的光刻工藝窗口、生產線良率、生產力和成本效益。 掃描儀進場後，ASML的客服團隊和我們的工程師通過現場驗證和迭代，高效攻克技術難題，僅用三個月就成功實現試產，並最終於10月進入正式量產階段。 通過與全球領先的半導體行業供應商 ASML 合作，Innoscience 的生產流程得到了簡化和加速，以支持蓬勃發展的 GaN 半導體行業，”Innoscience 首席執行官 Jay Son 表示。
這也是阿斯麥的光刻系統首次突破8英寸GaN-on-Si功率半導體晶圓的全球量產。 為了更好地支持 Innoscience，ASML 一直根據 Innoscience 的製造要求升級光刻掃描儀。 ASML 光刻掃描儀的成功推出將繼續促進 Innoscience 的 GaN-on-Si 功率半導體器件的量產，併為其長期發展做出貢獻。
“我們很自豪能成為英諾科技的合作伙伴，也很榮幸能獲得這樣的獎項。英諾科技的蓬勃發展反映了第三代半導體產業的發展和長期潛力，”沉波説，“ASML 一直在努力支持和服務 客户以我們領先的光刻技術推動半導體行業的創新。我們將繼續提供先進的技術和優質的服務，支持 Innoscience 的長期發展。”
DUV 業務線執行副總裁 Ron Kool 表示：“我們很自豪地看到 ASML TWINSCAN 光刻的卓越性能首次在 8 英寸 GaN-on-Si 功率半導體晶圓領域得到驗證。 我們完全有信心支持 Innoscience 在未來的持續增長。”
關於 Innoscience
Innoscience 是一家成立於 2015 年 12 月的集成設備製造商 (IDM) 公司。隨着新技術的發展，全球的電網和電力電子系統正在經歷一場巨大的變革。 我們的願景是創建一個能源生態系統，提供最有效和低成本的硅基氮化鎵 (GaN-on-Si) 電源解決方案。 2017年11月，英諾科技在珠海率先建立了8英寸硅基氮化鎵器件量產線。 為了滿足快速增長的電力需求，2020 年 9 月，英諾科技在蘇州開設了新工廠。 作為尖端 GaN 技術供應商，英諾科技擁有 1,300 多名員工和 300 多名研發專家，致力於高性能和可靠性 GaN功率器件，可用於雲計算、車載、便攜設備、手機等多種技術領域，更多信息請訪問www.innoscience.com
關於ASML
ASML 是半導體行業的領先供應商。 該公司為芯片製造商提供硬件、軟件和服務，以批量生產集成電路（微芯片）的圖案。 ASML 與其合作伙伴一起推動更實惠、更強大、更節能的微芯片的發展。 ASML 使開創性的技術能夠解決人類面臨的一些最嚴峻的挑戰，例如醫療保健、能源使用和保護、流動性和農業。 ASML 是一家跨國公司，總部位於荷蘭的 Veldhoven，在歐洲、美國和亞洲設有辦事處。 每天，ASML 的 30,000 多名員工 (FTE) 都在挑戰現狀並將技術推向新的極限。 ASML 在阿姆斯特丹泛歐交易所和納斯達克交易所交易，代碼為 ASML。
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