失效分析实验室

主要设备包括：

• 无损X射线分析仪
• 激光开封机
• 静态电性分析仪
• 光学显微镜
• 辅助制样
• 扫描电子显微镜
• 聚焦离子束显微镜
• 透射电子显微镜
• 二次离子质谱仪
• 微光显微镜/光束诱导阻值微变显微镜