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Innoscience成功引进ASML光刻扫描仪，提高生产效率和线收率
08Dec 2021 事件
Innoscience Technology (Zhuhai) Co., Ltd.（“Innoscience”）最近举行仪式，庆祝推出用于制造 Innoscience 8 英寸硅基氮化镓 (GaN-on-Si) 晶圆的光刻扫描仪，用于功率开关应用。 2021 年，Innoscience 推出了 ASML 的光刻扫描仪。 得益于 ASML 光刻扫描仪卓越的成像性能和独特的双级 TWINSCAN 架构，Innoscience GaN-on-Si 功率器件的生产率和线产量得到提高。 仪式上，阿斯麦副总裁、中国区总经理沉波代表阿斯麦被Innoscience授予“最佳战略合作伙伴”称号。
近年来，氮化镓（GaN）、碳化硅（SiC）等“第三代半导体”以其体积更小、开关频率更高、能源效率更高等特点成为全球半导体行业的焦点。 管理具有比传统硅材料更高的功率密度。 此类新材料可满足节能减排、智能制造等全球战略需求。GaN是关键的“第三代半导体”材料之一，具有广阔的市场前景和广泛的应用前景 涵盖消费者、工业和汽车。 作为全球领先的8英寸硅基氮化镓集成器件制造商（IDM），英诺科技致力于推动第三代半导体制造技术的创新和革命。
“我们在今年第二季度推出了 ASML 的光刻扫描仪，这提高了我们的光刻工艺窗口、生产线良率、生产力和成本效益。 扫描仪进场后，ASML的客服团队和我们的工程师通过现场验证和迭代，高效攻克技术难题，仅用三个月就成功实现试产，并最终于10月进入正式量产阶段。 通过与全球领先的半导体行业供应商 ASML 合作，Innoscience 的生产流程得到了简化和加速，以支持蓬勃发展的 GaN 半导体行业，”Innoscience 首席执行官 Jay Son 表示。
这也是阿斯麦的光刻系统首次突破8英寸GaN-on-Si功率半导体晶圆的全球量产。 为了更好地支持 Innoscience，ASML 一直根据 Innoscience 的制造要求升级光刻扫描仪。 ASML 光刻扫描仪的成功推出将继续促进 Innoscience 的 GaN-on-Si 功率半导体器件的量产，并为其长期发展做出贡献。
“我们很自豪能成为英诺科技的合作伙伴，也很荣幸能获得这样的奖项。英诺科技的蓬勃发展反映了第三代半导体产业的发展和长期潜力，”沉波说，“ASML 一直在努力支持和服务 客户以我们领先的光刻技术推动半导体行业的创新。我们将继续提供先进的技术和优质的服务，支持 Innoscience 的长期发展。”
DUV 业务线执行副总裁 Ron Kool 表示：“我们很自豪地看到 ASML TWINSCAN 光刻的卓越性能首次在 8 英寸 GaN-on-Si 功率半导体晶圆领域得到验证。 我们完全有信心支持 Innoscience 在未来的持续增长。”
关于 Innoscience
Innoscience 是一家成立于 2015 年 12 月的集成设备制造商 (IDM) 公司。随着新技术的发展，全球的电网和电力电子系统正在经历一场巨大的变革。 我们的愿景是创建一个能源生态系统，提供最有效和低成本的硅基氮化镓 (GaN-on-Si) 电源解决方案。 2017年11月，英诺科技在珠海率先建立了8英寸硅基氮化镓器件量产线。 为了满足快速增长的电力需求，2020 年 9 月，英诺科技在苏州开设了新工厂。 作为尖端 GaN 技术供应商，英诺科技拥有 1,300 多名员工和 300 多名研发专家，致力于高性能和可靠性 GaN功率器件，可用于云计算、车载、便携设备、手机等多种技术领域，更多信息请访问www.innoscience.com
关于ASML
ASML 是半导体行业的领先供应商。 该公司为芯片制造商提供硬件、软件和服务，以批量生产集成电路（微芯片）的图案。 ASML 与其合作伙伴一起推动更实惠、更强大、更节能的微芯片的发展。 ASML 使开创性的技术能够解决人类面临的一些最严峻的挑战，例如医疗保健、能源使用和保护、流动性和农业。 ASML 是一家跨国公司，总部位于荷兰的 Veldhoven，在欧洲、美国和亚洲设有办事处。 每天，ASML 的 30,000 多名员工 (FTE) 都在挑战现状并将技术推向新的极限。 ASML 在阿姆斯特丹泛欧交易所和纳斯达克交易所交易，代码为 ASML。
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